RBS analysis of titanium dioxide films deposited with the sol-gel spin coating technique

Abstract

En
Titanium dioxide nanoparticles can be synthesized using different techniques; among these, the sol-gel spin coating is fast and economical and guarantees excellent results. This work reports the results of the characterization of TiO2 films, prepared with the sol-gel spin coating method on glass and silicon, with the Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS). The influence of rotation speed and sol-gel volume deposited on the film thickness was investigated. Furthermore, the effect of heat treatment was evaluated. The results showed that as the speed increases, the thickness of the film decreases with an exponential trend. The volume of sol-gel deposited does not affect the thickness instead. Heat treatments induce a decrease in the film thickness and an elimination of the solvents present in the sol-gel.
It
Nanoparticelle di biossido di titanio possono essere sintetizzate con diverse tecniche; tra queste, il sol-gel spin coating garantisce ottimi risulti ed è, al tempo stesso, una tecnica veloce ed economica. In questo lavoro sono riportati i risultati della caratterizzazione, con la Rutherford Backscattering Spectrometry, di film di TiO2, preparati con il metodo sol-gel spin coating su vetro e su silicio. È stata investigata l'influenza della velocità di rotazione e del volume di sol-gel depositato sullo spessore del film. Inoltre, è stato valutato l'effetto del trattamento termico. I risultati hanno evidenziato come, all'aumentare della velocità, lo spessore del film diminuisce con andamento esponenziale. Il volume di sol-gel depositato non influisce, invece, sullo spessore. Eventuali trattamenti termici inducono una diminuzione dello spessore del film ed una eliminazione dei solventi presenti nel sol-gel.